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原文传递 超声波扫描的样品托盘
专利名称: 超声波扫描的样品托盘
摘要: 本发明公开了一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。本发明提出的样品托盘具有放置待测样品的凹槽,待测样品的排列非常整齐,扫描结果更为整洁、清晰、直观;只要将待测样品放置在盘体的凹槽中即可,无需对待测样品摆放的位置进行过多调整,有效缩短扫描时芯片的摆放时间;待测样品一旦放置,就不会受外力影响而移动,有效的解决芯片扫描时因外部应力造成摆动的问题;使用灵活方便,对于不同形状的待测样品,只要事先定制与之对应的盘体即可。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 上海;31
申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人: 李刚;张欣辉
专利状态: 有效
申请日期: 2009-08-05T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200910055934.4
公开号: CN101988916A
代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人: 谢安昆;宋志强
分类号: G01N29/22(2006.01)I
申请人地址: 201203 上海市浦东新区张江路18号
主权项: 一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,其特征在于,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。
所属类别: 发明专利
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