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原文传递一种超声波扫描装置及扫描方法

专利名称：	一种超声波扫描装置及扫描方法
摘要：	本发明提供一种超声波扫描装置及扫描方法，扫描方法包括：以待测晶圆半径为探头移动路径，并根据像素大小获取均次移动距离；根据待测晶圆半径和均次移动距离获取总扫描圈数；以待测晶圆圆心为原点、以均次移动距离为移动间距，超声波探头沿探头移动路径由内至外依次进行位置移动；在超声波探头每完成一次位置移动后，以该次位置移动的终点到起始原点的距离为半径形成一圆形扫描路径；待检晶圆按预设旋转速度匀速旋转一周，以对圆形扫描路径进行扫描；其中，预设旋转速度随着对应圆形扫描路径的半径的增加逐渐减小；对获取的扫描数据进行处理，生成扫描图像。通过本发明解决了现有技术中C_SAM机台检测时产能浪费、效率低导致成本增大的问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	德淮半导体有限公司
发明人：	董健;黄仁德;刘命江
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810634202.X
公开号：	CN109085237A
代理机构：	上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：	余明伟
分类号：	G01N29/04(2006.01)I;G01N29/26(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29;G01N29/04;G01N29/26
申请人地址：	223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
主权项：	1.一种超声波扫描装置的扫描方法，其特征在于，所述扫描方法包括：S1：以待检测晶圆的半径作为超声波探头的探头移动路径，同时根据设定的像素大小，获取超声波探头在所述探头移动路径上的均次移动距离；S2：根据所述待检测晶圆的半径和所述均次移动距离，获取所述超声波探头的总扫描圈数；S3：以所述待检测晶圆的圆心作为起始原点，同时以所述均次移动距离作为每次的移动间距，所述超声波探头沿所述探头移动路径由内至外依次进行位置移动，直至其移动次数和所述总扫描圈数相同；S4：在所述超声波探头每完成一次位置移动后，均以该次位置移动的终点到起始原点的距离作为半径，于所述待检测晶圆上形成一圆形扫描路径；所述待检测晶圆按预设旋转速度匀速旋转一周，以通过所述超声波探头对所述圆形扫描路径进行扫描；其中，所述预设旋转速度随着对应圆形扫描路径的半径的增加逐渐减小；S5：对获取的扫描数据进行处理，生成扫描图像。
所属类别：	发明专利