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超声波扫描方法和超声波扫描装置
| 专利名称： | 超声波扫描方法和超声波扫描装置 |
| 摘要： | 本发明涉及一种超声波扫描方法和超声波扫描装置，所述超声波扫描方法包括：提供一待扫描晶圆，所述待扫描晶圆置于一基台上；自所述基台边缘初始扫描位置开始，采用超声波进行逐行扫描，并获取超声波的反射波波形，所述反射波波形至少包括第一波形，所述第一波形对应于扫描位置自晶圆区域进入基台区域的反射波形；当获取到所述第一波形时，移动至下一行进行扫描，且扫描方向与上一行的扫描方向相反。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 德淮半导体有限公司 |
| 发明人： | 许平康;刘命江;方桂芹;黄仁德 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810611507.9 |
| 公开号： | CN108760885A |
| 代理机构： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 |
| 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 分类号： | G01N29/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29;G01N29/04 |
| 申请人地址： | 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 主权项： | 1.一种超声波扫描方法，其特征在于，包括：提供一待扫描晶圆，所述待扫描晶圆置于一基台上；自所述基台边缘初始扫描位置开始，采用超声波进行逐行扫描，并获取超声波的反射波波形，所述反射波波形至少包括第一波形，所述第一波形对应于扫描位置自晶圆区域进入基台区域的反射波形；当获取到所述第一波形时，移动至下一行进行扫描，且扫描方向与上一行的扫描方向相反。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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