专利名称: | 用于织构表面研究的方法和装置 |
摘要: | 本发明公开了一种用于织构表面(10)的光学研究的方法,包括以下步骤:照射射线到被研究的所述表面(10);接收来自至少部分照射到所述表面(10)和被所述表面(10)反射的射线的图像;定位评价记录的图像并确定作为该图像特征的至少一个值(K)。根据本发明,在使用所述特征值(K)及使用所述表面(10)的事前已知或经测定的至少一个附加属性(E)的同时,确定作为所述表面特征的参数(G)。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 毕克-加特纳有限责任公司 |
发明人: | 彼得·施瓦茨;乌韦·斯珀林 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2010-07-06T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201010230911.5 |
公开号: | CN101957187A |
代理机构: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 |
代理人: | 高占元 |
分类号: | G01B11/30(2006.01)I |
申请人地址: | 德国盖雷茨里德82538劳齐茨大街8号 |
主权项: | 一种用于织构表面(10)的光学研究的方法,包括以下步骤:照射射线到被研究的所述表面(10);接收来自至少部分照射到所述表面(10)和被所述表面(10)反射的射线的图像;定位评价记录的图像并确定作为该图像特征的至少一个值(K),其特征在于,在使用所述特征值(K)及使用所述表面(10)的事前已知或经测定的至少一个附加属性(E)的同时,确定作为所述表面特征的参数(G)。 |
所属类别: | 发明专利 |