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原文传递 用于织构表面研究的方法和装置
专利名称: 用于织构表面研究的方法和装置
摘要: 本发明公开了一种用于织构表面(10)的光学研究的方法,包括以下步骤:照射射线到被研究的所述表面(10);接收来自至少部分照射到所述表面(10)和被所述表面(10)反射的射线的图像;定位评价记录的图像并确定作为该图像特征的至少一个值(K)。根据本发明,在使用所述特征值(K)及使用所述表面(10)的事前已知或经测定的至少一个附加属性(E)的同时,确定作为所述表面特征的参数(G)。
专利类型: 发明专利
申请人: 毕克-加特纳有限责任公司
发明人: 彼得·施瓦茨;乌韦·斯珀林
专利状态: 有效
申请日期: 2010-07-06T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201010230911.5
公开号: CN101957187A
代理机构: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217
代理人: 高占元
分类号: G01B11/30(2006.01)I
申请人地址: 德国盖雷茨里德82538劳齐茨大街8号
主权项: 一种用于织构表面(10)的光学研究的方法,包括以下步骤:照射射线到被研究的所述表面(10);接收来自至少部分照射到所述表面(10)和被所述表面(10)反射的射线的图像;定位评价记录的图像并确定作为该图像特征的至少一个值(K),其特征在于,在使用所述特征值(K)及使用所述表面(10)的事前已知或经测定的至少一个附加属性(E)的同时,确定作为所述表面特征的参数(G)。
所属类别: 发明专利
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