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原文传递基片上载装置

专利名称：	基片上载装置
摘要：	本实用新型公开了一种基片上载装置，用于真空环境下上载基片，该基片上载装置包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构和基片升降机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体，所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体，所述基片升降机构驱动基片做升降运动。该基片上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下，且安全、洁净、可靠。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	东莞宏威数码机械有限公司
发明人：	杨明生;王曼媛;刘惠森;范继良;王勇;张华
专利状态：	有效
申请日期：	2010-09-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201020555906.7
公开号：	CN201825561U
代理机构：	广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：	张艳美;郝传鑫
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
主权项：	一种基片上载装置，用于真空环境下上载基片，其特征在于，包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构和基片升降机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动所述夹持机构沿水平方向输入输出所述真空腔体，所述夹持升降机构驱动所述夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动所述基片沿水平方向输入所述真空腔体，所述基片升降机构位于所述基片下方并驱动所述基片做升降运动。
所属类别：	实用新型