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原文传递基片运载装置

专利名称：	基片运载装置
摘要：	本发明公开了一种基片运载装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片运载装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本发明基片运载装置尤其适用于真空环境的基片传送，传送过程安全、定位精确。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	东莞宏威数码机械有限公司
发明人：	杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇
专利状态：	有效
申请日期：	2009-09-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910192036.3
公开号：	CN101670942
代理机构：	广州三环专利代理有限公司
代理人：	张艳美;郝传鑫
分类号：	B65G49/00(2006.01)I
申请人地址：	523018广东省东莞市南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司
主权项：	1.一种基片运载装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片运载装置包括底座、传动组件和驱动电机，其特征在于：还包括基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。
所属类别：	发明专利