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原文传递真空传输制程设备及方法

专利名称：	真空传输制程设备及方法
摘要：	本发明公开了一种真空传输制程设备，其包括：至少两个与真空制程腔的一端相连的进件腔；与各进件腔一一对应的至少两个传输平台，各传输平台的移动平面各不相同；一移位装置，用于使该传输平台与该加工区域垂直于该传输平台的移动方向相对移位；其中，每个传输平台在从进件腔移向该真空制程腔时，该传输平台一侧的工件将经过该加工区域完成加工，在该传输平台从该真空制程腔移回该进件腔时，该传输平台另一侧的工件将经过该加工区域完成加工。本发明还公开了一种利用上述的真空传输制程设备实现的真空传输制程方法，以及另一种真空传输制程设备及方法。本发明能够使得各批次工件连续不间断地获得加工，从而实现最理想的极高的生产效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海凯世通半导体有限公司
发明人：	陈炯;洪俊华;钱锋
专利状态：	有效
申请日期：	2010-07-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010223105.5
公开号：	CN102310999A
代理机构：	上海智信专利代理有限公司 31002
代理人：	薛琦;朱水平
分类号：	B65G47/74(2006.01)I
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼1号
主权项：	一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一具有一加工区域、并用于对经过该加工区域的工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：至少两个通过可开闭密封件与该真空制程腔的一端相连的进件腔，该些进件腔可以在大气状态与真空状态之间切换，且该加工区域设于该真空制程腔的临近该些进件腔的该端处；与各进件腔一一对应的至少两个传输平台，各传输平台用于相继地将工件从各进件腔传输至该真空制程腔、再从该真空制程腔传输回各进件腔，各传输平台的移动平面各不相同，且每个传输平台上承载的工件均沿该传输平台的移动方向分两侧排列；一移位装置，用于在每个传输平台即将从该真空制程腔移回进件腔时，使该传输平台与该加工区域垂直于该传输平台的移动方向相对移位；其中，每个传输平台在从进件腔移向该真空制程腔时，该传输平台一侧的工件将经过该加工区域完成加工，在该传输平台从该真空制程腔移回该进件腔时，该传输平台另一侧的工件将经过该加工区域完成加工。
所属类别：	发明专利