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用于移动基板的系统、设备与方法
| 专利名称： | 用于移动基板的系统、设备与方法 |
| 摘要： | 提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明还提供了附加的方面。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料公司 |
| 发明人： | P·R·琴恩塔拉帕蒂;S·桑德;B·阿莱克斯洛德;M·D·塞法堤;T·K·赵;J·A·布洛迪尼;J·K·福斯特;E·吴 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-01-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201080010832.1 |
| 公开号： | CN102341901A |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 |
| 代理人： | 陆嘉;张欣 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 主权项： | 一种用于在电子元件制造制程中移动基板的系统，包括：机械手，用于移动基板，该机械手包括末端执行器，且该末端执行器包括：基座部分，以及至少三个垫，其设置在所述基座部分上，其中每个所述垫包括一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状以及约45Ra～约65Ra的粗糙度。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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