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原文传递用于附着基板的设备

专利名称：	用于附着基板的设备
摘要：	本发明公开了一种用于附着基板的设备，该设备在上腔室与下腔室之间设置有缓冲件。该缓冲件减少了对腔室之间的密封空间进行真空排气期间施加于升降装置的载荷。因此，可以减小施加于升降螺杆以及支撑腔室的框架上的力，从而延长基板附着设备的使用寿命，并延长更换部件的周期。而且，通过利用固定装置将升降部件连接于外框架，可以增大升降部件的下腔室支撑力。结果，下腔室被稳定地固定，从而可以减少基板附着过程中的不足。
专利类型：	发明专利
申请人：	爱德牌工程有限公司
发明人：	黄载锡;金东建
专利状态：	有效
申请日期：	2007-10-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710182037.0
公开号：	CN101191937
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	章社杲;吴贵明
分类号：	G02F1/1333(2006.01)I
申请人地址：	韩国京畿道
所属类别：	发明专利