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一种基于表面等离子体共振的光波导传感器
| 专利名称： | 一种基于表面等离子体共振的光波导传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面等离子体共振的光波导传感器。包括输入波导阵列、自由传播区、自由传播区反射端面、镀在自由传播区反射端面的金属传感层、装被测物质的槽、输出波导阵列、探测器阵列和用于拦光的深刻蚀槽；输入波导阵列中的一根输入波导引入的入射光光束，经自由传播区的一端到达自由传播区底面的反射端面-金属传感层-被测物质界面，反射光束反射到自由传播区的另一端、经输出波导阵列的一侧至探测器阵列，输出波导阵列的另一侧设有用于拦光的深刻蚀槽。采用1550nm波长，易于与光通信网络相连接在用户家庭使用，实现即时即地诊断；采用平面光波导集成和微流体工艺，使传统的体型等离子体共振传感器实现小型化、集成化、可便携。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江大学 |
| 发明人： | 范世琦;李明宇;何建军 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-11T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110356206.4 |
| 公开号： | CN102519911A |
| 代理机构： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
| 代理人： | 林怀禹 |
| 分类号： | G01N21/55(2006.01)I |
| 申请人地址： | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |
| 主权项： | 一种基于表面等离子体共振的光波导传感器，其特征在于：包括输入波导阵列(1)、自由传播区(2)、自由传播区反射端面(30)、镀在自由传播区反射端面(30)的金属传感层(3)、装被测物质(4)的深刻蚀槽(40)、输出波导阵列(5)、探测器阵列(6)和用于拦光的深刻蚀槽(7)；输入波导阵列(1)中的一根输入波导引入的入射光光束，经自由传播区(2)的一端到达自由传播区(2)底面的反射端面(30)?金属传感层(3)?被测物质(4)界面，反射光束反射到自由传播区(2)的另一端、经输出波导阵列(5)的一侧至探测器阵列( |
| 所属类别： | 发明专利 |
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