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原文传递模组化基板处理系统及方法

专利名称：	模组化基板处理系统及方法
摘要：	提供一种模组化基板处理系统，用以处理柔性基板。该系统包含于水平方向中相互邻近设置的至少两个处理模组。该处理模组包含气垫滚轮，气垫滚轮适于无接触导引柔性基板，并适于使柔性基板在垂直方向中转向。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料公司
发明人：	安德烈·赫尔佐格;尼尔·莫里森;斯蒂芬·海因;皮特·索尔
专利状态：	有效
申请日期：	2010-09-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080042207.5
公开号：	CN102511073A
代理机构：	北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：	徐金国
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	一种适于处理柔性基板的模组化基板处理系统，所述系统包含：至少两个处理模组，所述至少两个处理模组于水平方向中相互邻近设置，其中所述处理模组包含气垫滚轮，所述气垫滚轮适于无接触导引所述柔性基板，并适于使所述柔性基板于垂直方向中转向。
所属类别：	发明专利