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原文传递基板处理系统和方法

专利名称：	基板处理系统和方法
摘要：	本发明提供一种在能够单层式或双层式的一个以上基板处理腔室混合存在的多腔室型基板处理系统中提高生产率的基板处理装置和方法。根据处理腔室的种类和基板的处理，使用从两个搬送臂同时进入和退出进行基板搬入搬出的第一顺序、以两个搬送臂在互相不同的时刻进入进行搬入搬出的第三顺序和在同时进行搬入和搬出基板的第一和第三顺序之间的第二顺序中选取的最适宜的基板搬入搬出方法。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	白岩裕嗣
专利状态：	有效
申请日期：	2006-09-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610154362.1
公开号：	CN1937201
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利