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基板输送装置及其清洗方法和基板处理系统及其清洗方法
| 专利名称： | 基板输送装置及其清洗方法和基板处理系统及其清洗方法 |
| 摘要： | 提供一种在不降低基板处理系统实际作业率的情况下能充分清除 堆积粒子的基板输送装置。基板输送装置(10)由箱状的腔室(11)及腔室 (11)内配有的输送臂(12)、负责该腔室(11)内排气的排气管线(15)、使 N |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 守屋刚;中山博之 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-04-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510067932.9 |
| 公开号： | CN1736830 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | B65G49/05(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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