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原文传递基板的输送方法及其装置

专利名称：	基板的输送方法及其装置
摘要：	一种单张输送方法及其装置，各台架100、200、300……分别通过台架堆料机130、230、330……连接到台架间输送线400。台架100由该场合的平面形状为环状的单张输送线120和沿其长度输送方向(与台架间输送线400的输送方向交叉的方向)并列设置的处理装置101-106构成。在该场合，处理装置101-103在单张输送线120的一方侧各邻接配置1台地并列设置。另外，余下的处理装置104-106在另一方侧各邻接配置1台地并列设置。处理装置101-106分别具有输送机械手11-16。处理装置101-106具
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社日立高新技术
发明人：	内牧阳一;江川优子;加治哲德
专利状态：	有效
申请日期：	2002-08-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN02142211.7
公开号：	CN1446742
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	何腾云
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利