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原文传递一种机械臂控制系统及控制方法

专利名称：	一种机械臂控制系统及控制方法
摘要：	本发明公开了一种机械臂控制系统及控制方法，应用于由联机设备控制器控制且至少设置有两个加工腔体的半导体制造设备中，其中，包括控制逻辑生成装置、控制器以及用以向所述加工腔体中装卸加工基材的机械装置，所述控制逻辑生成装置与所述控制器连接，提供所述控制器用以控制所述机械装置的指令，所述控制器与所述机械装置连接，用以控制所述机械装置动作。其技术方案的有益效果是：可在不影响半导体制造设备加工效率的前提下解决现有技术中存在的机械臂阻塞的问题，且不增加半导体制造设备的硬件设置，逻辑控制也较简单。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	周虹任;唐山河;胡堂林;李健;邱栓杉
专利状态：	有效
申请日期：	2013-05-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201310180660.8
公开号：	CN104162889A
代理机构：	上海申新律师事务所 31272
代理人：	竺路玲
分类号：	B25J9/16(2006.01)I
申请人地址：	201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种机械臂控制系统，应用于由联机设备控制器控制且至少设置有两个加工腔体的半导体制造设备中，其特征在于，包括控制逻辑生成装置、控制器以及用以向所述加工腔体中装卸加工基材的机械装置，所述控制逻辑生成装置与所述控制器连接，提供所述控制器用以控制所述机械装置的指令，所述控制器与所述机械装置连接，用以控制所述机械装置动作；所述控制逻辑生成装置包括第一数据储存部件以及监控部件，所述第一数据储存部件储存有对应每个所述加工腔体于每种加工工艺时所需用时的工艺用时记录，所述监控部件监控每个加工腔体执行工艺的进度，所述控制逻辑生成装置根据所述第一数据储存部件中储存的所述工艺用时记录以及对应的加工腔体当前工艺的执行进度向所述控制器发出指令，所述控制器根据所述控制逻辑生成装置发送的指令控制所述机械装置动作。
所属类别：	发明专利