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一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法
| 专利名称： | 一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法，包括以下步骤：提供蒸镀腔体与玻璃基板，将位于所述蒸镀腔体内的玻璃基板加热至一平衡温度；提供金属掩膜，将所述金属掩膜进行预加热至所述平衡温度；将完成预加热的所述金属掩膜传输入所述蒸镀腔体内的所述玻璃基板上进行蒸镀。本发明通过在金属掩膜传入蒸镀腔体前，对金属掩膜进行预加热，使金属掩膜在传入蒸镀腔体前，就已经达到连续蒸镀制程时将达到的平衡温度。如此在金属掩膜一开始传入蒸镀腔体时，就可以保持尺寸不受温度变化而产生变异，避免了金属掩模与玻璃基板因热膨胀而导致变形，进而达到制程的稳定。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 发明人： | 康嘉滨;苏志玮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2014-07-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201410338518.6 |
| 公开号： | CN104152847A |
| 代理机构： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 |
| 代理人： | 曾耀先 |
| 分类号： | C23C14/04(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 |
| 主权项： | 一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法，其特征在于包括以下步骤：提供蒸镀腔体与玻璃基板，将位于所述蒸镀腔体内的玻璃基板加热至一平衡温度；提供金属掩膜，将所述金属掩膜进行预加热至所述平衡温度；将完成预加热的所述金属掩膜传输入所述蒸镀腔体内的所述玻璃基板上进行蒸镀。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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