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原文传递退火装置及退火方法

专利名称：	退火装置及退火方法
摘要：	本发明涉及一种退火装置和退火方法，应用于有源矩阵有机发光二极体面板的封装工艺中，其中，所述退火装置包括一高周波发射器；所述高周波发射器设置于所述有源矩阵有机发光二极体面板的上方或下方，以对所述面板进行退火工艺。所述退火方法包括：采用高周波发射器对所述有源矩阵有机发光二极体面板进行退火工艺；其中，所述高周波发射器包括设置有多个高周波喷嘴的滚动装置；所述高周波喷嘴与所述退火区域进行对位后，所述滚动装置带动所述多个高周波喷嘴旋转，以使得所述多个高周波喷嘴完成对所述有源矩阵有机发光二极体面板的退火工艺。本发明的装置及方法应用于大批量的工业生产中，具有节省退火工艺时间、提高产能等有益效果。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	谢博钧
专利状态：	有效
申请日期：	2013-04-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201310150857.7
公开号：	CN104124400A
代理机构：	上海申新律师事务所 31272
代理人：	竺路玲
分类号：	H01L51/56(2006.01)I
申请人地址：	201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种退火装置，应用于有源矩阵有机发光二极体面板的封装工艺中，其特征在于，所述退火装置包括一高周波发射器；所述高周波发射器设置于所述有源矩阵有机发光二极体面板的上方或下方，以对所述面板进行退火工艺。
所属类别：	发明专利