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一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用
| 专利名称： | 一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高抛光速率的用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包含有磨料、pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1~50wt%，所述表面活性剂的含量为0.005-1wt%，所述消泡剂的含量为20~200ppm。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，可以使得蓝宝石衬底粗糙度小于0.2nm，抛光速率大于5μm/h，并可有效消除凹坑、突起、划痕等表面缺陷。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 上海新安纳电子科技有限公司 |
| 发明人： | 张泽芳;刘卫丽;宋志棠 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-12-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110433696.3 |
| 公开号： | CN102585705A |
| 代理机构： | 上海光华专利事务所 31219 |
| 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 分类号： | C09G1/02(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢 |
| 主权项： | 一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包括磨料、碱性pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1～50wt％，所述表面活性剂的含量为0.005?1wt％，所述消泡剂的含量为20～200ppm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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