详情

原文传递蓝宝石衬底及抛光方法与应用

专利名称：	蓝宝石衬底及抛光方法与应用
摘要：	本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率。
专利类型：	发明专利
申请人：	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：	胡晓凯;宋志棠;刘卫丽
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910053513.8
公开号：	CN101604666
代理机构：	上海光华专利事务所
代理人：	许亦琳;余明伟
分类号：	H01L23/00(2006.01)I
申请人地址：	200050上海市长宁区长宁路865号
主权项：	1.一种蓝宝石衬底，其表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。
所属类别：	发明专利