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原文传递检测发光器件混色缺陷的装置

专利名称：	检测发光器件混色缺陷的装置
摘要：	本实用新型提供的检测发光器件混色缺陷的装置，涉及半导体器件制造领域，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	颜圣佑;许嘉哲;吴思宗
专利状态：	有效
申请日期：	2015-03-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201520154803.2
公开号：	CN204596753U
代理机构：	上海申新律师事务所 31272
代理人：	吴俊
分类号：	H01L21/66(2006.01)I
申请人地址：	201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种检测发光器件混色的装置，其特征在于，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。
所属类别：	实用新型