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硅棒多线切割设备和硅棒转运系统
| 专利名称： | 硅棒多线切割设备和硅棒转运系统 |
| 摘要： | 本申请公开一种硅棒多线切割设备和硅棒转运系统，该硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置，其中，利用硅棒转换装置可将承载的硅棒在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换，利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割以及利用线切割装置中的至少一第二线切割单元对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割，如此，可实现硅棒的快速且便捷地转换，能一并完成硅棒的开方切割和倒角切割，提高了硅棒的切割作业效率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 发明人： | 卢建伟;潘雪明 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820236737.7 |
| 公开号： | CN208148231U |
| 代理机构： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
| 代理人： | 王丽丹 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04;B28D5/00 |
| 申请人地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路129号6号楼 |
| 主权项： | 1.一种硅棒多线切割设备，其特征在于，包括：工作台，依序设有等待区、第一切割区以及第二切割区；硅棒转换装置，设于所述工作台上，包括：转换工作台，设有多个硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述多个硅棒承载台在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换；以及线切割装置，设有与所述第一切割区对应的至少一第一线切割单元和与所述第二切割区对应的至少一第二线切割单元；所述至少一第一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割，所述至少一第二线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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