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原文传递硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统

专利名称：	硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统
摘要：	本申请公开一种硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统，该硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置，其中，利用硅棒转换装置可将承载的硅棒在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换，利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割以及利用线切割装置中的至少一第二线切割单元对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割，如此，可实现硅棒的快速且便捷地转换，能一并完成硅棒的开方切割和倒角切割，提高了硅棒的切割作业效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江集英精密机器有限公司
发明人：	卢建伟;潘雪明
专利状态：	有效
申请日期：	2018-02-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201810136989.7
公开号：	CN110126109A
代理机构：	浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人：	王丽丹
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路128号6号楼
主权项：	1.一种硅棒多线切割设备，其特征在于，包括：工作台，依序设有等待区、第一切割区以及第二切割区；硅棒转换装置，设于所述工作台上，包括：转换工作台，设有多个硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述多个硅棒承载台在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换；以及线切割装置，设有与所述第一切割区对应的至少一第一线切割单元和与所述第二切割区对应的至少一第二线切割单元；所述至少一第一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割，所述至少一第二线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割。 2.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述转换驱动机构包括：转动轴，连接于所述转换工作台；以及转动驱动源，与所述转动轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。 3.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述线切割装置包括：线切割支座，所述线切割支座上设有至少一第一线切割单元和至少一第二线切割单元；以及升降机构，用于驱动所述线切割支座作升降运动。 4.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述线切割装置包括：第一线切割支座，所述第一线切割支座上设有至少一第一线切割单元；第一升降机构，用于驱动所述第一线切割支座作升降运动；第二线切割支座，所述第二线切割支座上设有至少一第二线切割单元；以及第二升降机构，用于驱动所述第二线切割支座作升降运动。 5.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括临设于所述硅棒转换装置的硅棒装卸装置，包括：换向载具，设有工件夹具；以及换向驱动机构，用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述工件夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的硅棒承载台，或，夹持对应于等待区的硅棒承载台上的已倒角硅棒并将已倒角硅棒由等待区转运至装卸区。 6.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括设于所述硅棒承载台周边的边皮顶托机构。 7.根据权利要求6所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮顶托机构包括：活动承托件；以及锁定控制件，用于在活动承托件抵靠于待切割硅棒的底部时将所述活动承托件控制在锁定状态。 8.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括边皮卸料装置，用于将所述至少一第一线切割单元对所述待切割硅棒进行开方切割后产生的边皮予以卸料。 9.根据权利要求8所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮卸料装置包括：错开机构，用于驱动边皮和已开方硅棒发生相对升降位移，使得所述边皮的顶端突出于所述已开方硅棒。 10.根据权利要求9所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮卸料装置还包括：夹持转运机构，用于夹持住所述边皮的顶端后并拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒以及将所述边皮转运至边皮卸料区。 11.一种硅棒多线切割方法，应用于一硅棒多线切割切备中，所述硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置，其中，硅棒转换装置包括具有多个硅棒承载台的转换工作台以及用于驱动所述转换工作台中的硅棒承载台作转换运动的转换驱动机构，所述线切割装置包括至少一第一线切割单元和至少一第二线切割单元；其特征在于，所述硅棒多线切割方法包括如下步骤：将待切割硅棒置放于转换工作台中对应于等待区的至少一硅棒承载台上；驱动所述转换工作台作转换运动以将至少一硅棒承载台及其上的待切割硅棒由等待区转换至第一切割区；利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对对应于第一切割区的至少一硅棒承载台上的待切割硅棒进行开方切割；驱动所述转换工作台作转换运动以将至少一硅棒承载台及其上的已开方硅棒由第一切割区转换至第二切割区；利用线切割装置中的至少一第二线切割单元对对应于第二切割区的至少一硅棒承载台上的已开方硅棒进行倒角切割；以及驱动所述转换工作台作转换运动以将至少一硅棒承载台及其上的已倒角硅棒由第二切割区转换至等待区，将所述已倒角硅棒予以卸料。 12.根据权利要求11所述的硅棒多线切割方法，其特征在于，驱动所述转换工作台作转换运动通过以下至少一种方式实现：驱动所述转换工作台作转动；以及驱动所述所述转换工作台作平移。 13.根据权利要求11所述的硅棒多线切割方法，其特征在于，还包括顶托待切割硅棒进行开方切割后所形成的边皮的步骤。 14.根据权利要求11所述的硅棒多线切割方法，其特征在于，还包括将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料的步骤。 15.根据权利要求14所述的硅棒多线切割方法，其特征在于，将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料的步骤中更包括如下步骤：驱动所述边皮和已开方硅棒发生相对升降位移，使得所述边皮的顶端凸出于所述已开方硅棒。 16.根据权利要求15所述的硅棒多线切割方法，其特征在于，将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料，还包括步骤：夹持住所述边皮的顶端；拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒；以及将所述边皮转运至边皮卸料区。 17.一种硅棒转运系统，应用于硅棒多线切割设备中，其特征在于，所述硅棒转运系统包括：硅棒转换装置，包括：转换工作台，转换工作台，设有多个硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述多个硅棒承载台在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换；以及硅棒装卸装置，临设于所述转换工作台，用于将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的硅棒承载台或将已倒角硅棒由对应于等待区的硅棒承载台转运至装卸区。 18.根据权利要求17所述的硅棒转运系统，其特征在于，所述转换驱动机构包括：转动轴，连接于所述转换工作台；以及转动驱动源，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。 19.根据权利要求17所述的硅棒转运系统，其特征在于，所述转换工作台上均匀设有三个硅棒承载台或四个硅棒承载台。 20.根据权利要求17所述的硅棒转运系统，其特征在于，所述硅棒装卸装置包括：换向载具，设有工件夹具；以及换向驱动机构，用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述工件夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的硅棒承载台，或，夹持对应于等待区的硅棒承载台上的已倒角硅棒并将已倒角硅棒由等待区转运至装卸区。 21.根据权利要求20所述的硅棒转运系统，其特征在于，所述换向驱动机构包括：换向轴，连接于所述换向载具；以及换向驱动源，与所述换向轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述换向载具转动。
所属类别：	发明专利