原文传递
一种光激发气敏传感测试系统的应用
| 专利名称： | 一种光激发气敏传感测试系统的应用 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光激发气敏传感测试系统的应用，其特征在于，包括以下步骤：在室温下，将宽带隙半导体的传感器放入半导体测试仪的测试腔中，在半导体测试仪的测试腔中通入待测试气体，将紫外光光源靠近到半导体测试仪的测试腔体，同时将宽带隙半导体的传感器与半导体测试仪相连，通过半导体测试仪检测出感应电流的响应值的明显增大。本发明通过光照引入的电子和空穴改变材料体内缺陷的状态，改变了金属氧化物半导体表面的吸附能力和吸附中心的浓度，有效改善了它们的响应性能，从而使气敏元件能够在较低工作温度条件下实现对传感器的应用与测试过程。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 上海电机学院 |
| 发明人： | 叶小亮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810274769.0 |
| 公开号： | CN108663406A |
| 代理机构： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 |
| 代理人： | 翁若莹 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00 |
| 申请人地址： | 201100 上海市闵行区江川路690号 |
| 主权项： | 1.一种光激发气敏传感测试系统的应用，其特征在于，包括以下步骤：在室温下，将宽带隙半导体的传感器放入半导体测试仪的测试腔中，在半导体测试仪的测试腔中通入待测试气体，将紫外光光源靠近到半导体测试仪的测试腔体，同时将宽带隙半导体的传感器与半导体测试仪相连，通过半导体测试仪检测出感应电流的响应值的明显增大。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
