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原文传递一种湿敏晶体管传感器

专利名称：	一种湿敏晶体管传感器
摘要：	本实用新型公开了一种湿敏晶体管传感器，其中，晶体管传感器包括高掺硅层和二氧化硅层，所述二氧化硅层设于所述高掺硅层的上部，所述二氧化硅层的上端设有二硫化钼层，所述二氧化硅层上设有源极和漏极，所述源极与漏极分别位于所述二硫化钼层的两相对侧，所述高掺硅层上设有栅极。本实用新型的晶体管传感器在尺寸上得到了高度的压缩，利用MoS2独特的电子性质，起到很好的气体吸附的性能，对环境中的水气具有灵敏度高、稳定性好、与传统的微纳加工工艺兼容等优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	季优科技（上海）有限公司
发明人：	王中健;肖兵;梁欢;黄肖艳
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820959934.1
公开号：	CN208270479U
代理机构：	上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297
代理人：	邓文武
分类号：	G01N27/414(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/414
申请人地址：	201899 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室
主权项：	1.一种湿敏晶体管传感器，其特征在于：包括高掺硅层和二氧化硅层，所述二氧化硅层设于所述高掺硅层的上部，所述二氧化硅层的上端设有二硫化钼层，所述二氧化硅层上设有源极和漏极，所述源极与漏极分别位于所述二硫化钼层的两相对侧，所述高掺硅层上设有栅极。
所属类别：	实用新型