详情

原文传递一种电子器件表面缺陷检测系统

专利名称：	一种电子器件表面缺陷检测系统
摘要：	本实用新型属于电子器件检测系统领域，公开了一种电子器件表面缺陷检测系统。所述系统由光源控制模块A、分光干涉光学模块B、样品控制模块C和数据采集分析模块D构成；光源控制模块A产生特定频率的光束，通过分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光，一束通过样品控制模块C中的被测电子器件表面反射，另一束通过反射镜反射，使两束反射光产生干涉，数据采集分析模块D接收产生的干涉图样。本实用新型的系统可以对电子器件的表面及界面处微小形变进行的非接触式测量，具有高精度、全场、实时、无损检测等优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	华南理工大学
发明人：	钟祎洵;姚日晖;宁洪龙;魏靖林
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820367522.9
公开号：	CN208013103U
代理机构：	广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人：	罗啸秋
分类号：	G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88
申请人地址：	510640 广东省广州市天河区五山路381号
主权项：	1.一种电子器件表面缺陷检测系统，其特征在于：所述系统由光源控制模块A、分光干涉光学模块B、样品控制模块C和数据采集分析模块D构成；所述分光干涉光学模块B由分光镜B1、分光镜B2、反射镜M，扩束镜L1和成像透镜L2构成；系统中各模块的连接关系为：光源控制模块A产生特定频率的光束，进入分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光，一束通过扩束镜L1扩束后使之照射在样品控制模块C中的被测电子器件表面上产生反射；另一束经过反射镜M反射后进入另一个扩束镜L1扩束后投射至分光镜B2上；被测电子器件表面上产生的反射光通过成像透镜L2进行汇聚，然后与经分光镜B2的反射光产生干涉，干涉图样通过数据采集分析模块D接收。
所属类别：	实用新型