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原文传递 一种太阳能单晶硅片生产工艺
专利名称: 一种太阳能单晶硅片生产工艺
摘要: 本发明属于多晶硅的切片加工技术领域,具体的说是一种太阳能单晶硅片生产工艺,该生产工艺采用切片装置,包括安装架、单晶硅棒、切片单元、推片单元和张紧单元,安装架水平放置在地面上,安装架为L型,安装架上放置单晶硅棒,单晶硅棒为长方体;切片单元用于对单晶硅棒进行切片;推片单元用于将单晶硅棒推向切片单元;张紧单元用于配合切片单元和推片单元对单晶硅棒进行切割,使用时,手动将需要切片的单晶硅棒放入推片单元中的放置座上,推片电机带动凸轮转动从而使切片单元中的切刀往下运动,推片单元带动硅片运动至合适位置时,切片单元对单晶硅棒进行切割,通过推片单元和张紧单元的相互配合实现对单晶硅棒的等分切片,提高切片效率。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 四川;51
申请人: 顾雨彤
发明人: 顾雨彤;刘昊天
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810532990.1
公开号: CN108748740A
分类号: B28D5/00(2006.01)I;B24B9/06(2006.01)I;B24B19/22(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B;C;B28;B24;C30;B28D;B24B;C30B;B28D5;B24B9;B24B19;B28D7;C30B33;C30B29;B28D5/00;B24B9/06;B24B19/22;B28D7/00;B28D7/04;C30B33/10;C30B33/02;C30B29/06
申请人地址: 610599 四川省成都市新都区新都大道8号西南石油大学
主权项: 1.一种太阳能单晶硅片生产工艺,其特征在于:该生产工艺包括如下步骤:步骤一:切片:取长方体的单晶硅棒,将单晶硅棒放入切片装置中进行切片,切片后的单晶硅棒变为单晶硅片;步骤二:激光标识:使用激光打印机在步骤一中的单晶硅片上刻上标识;步骤三:倒角:当步骤二中的喷码机对单晶硅片标识完成之后,对单晶硅片的尖利的边缘进行倒角;步骤四:磨片:将步骤三中倒角后的单晶硅片放置在载体上,对载体上的硅片进行磨片;步骤五:腐蚀:将步骤四中磨片后的单晶硅片放入弱碱溶液中,弱碱溶液将单晶硅片表面的损伤去除;步骤六:背损伤:用刷子在步骤五中腐蚀后的单晶硅片的表面摩擦;步骤七:边缘抛光:用酸性溶液对步骤六中背损伤处理后的单晶硅片进行酸腐蚀;步骤八:预热清洗:将步骤七中边缘抛光后的单晶硅片放入弱酸溶液中进行溶解以清除污物;步骤九:退火:将步骤八中预热清洗后的单晶硅片加热到高温,然后再对单晶硅片进行急冷;步骤十:抛光:用特制的抛光衬垫和特殊的抛光砂对步骤九中的单晶硅片进行化学/机械抛光;通过步骤一至步骤十可完成对单晶硅棒的切片生产,对单晶硅棒进行层层处理,生产出的单晶硅片规格精细,且尺寸比较均匀;所述步骤一中的切片装置包括安装架(1)、单晶硅棒(2)、切片单元(3)、推片单元(4)和张紧单元(5),所述安装架(1)水平放置在地面上,安装架(1)为L型,安装架(1)上表面水平开设一号凹槽(11),安装架(1)上放置单晶硅棒(2),单晶硅棒(2)为长方体;所述切片单元(3)安装在安装架(1)上,切片单元(3)用于对单晶硅棒(2)进行切片;所述推片单元(4)用于将单晶硅棒(2)推向切片单元(3);所述张紧单元(5)用于配合切片单元(3)和推片单元(4)对单晶硅棒(2)进行切割。
所属类别: 发明专利
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