专利名称: | 一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 贵州;52 |
申请人: | 贵州理工学院 |
发明人: | 唐安江;张丹辉;韦德举;黄崇;张妙鹤;蒋东海;魏娴;唐石云;仇伟;吴承燕 |
专利状态: | 有效 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201810012631.3 |
公开号: | CN107957415A |
代理机构: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 |
代理人: | 刘艳 |
分类号: | G01N21/73(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/73 |
申请人地址: | 550003 贵州省贵阳市云岩区蔡关路1号 |
所属类别: | 发明专利 |