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一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法
| 专利名称： | 一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 贵州;52 |
| 申请人： | 贵州理工学院 |
| 发明人： | 唐安江;张丹辉;韦德举;黄崇;张妙鹤;蒋东海;魏娴;唐石云;仇伟;吴承燕 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810012631.3 |
| 公开号： | CN107957415A |
| 代理机构： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 |
| 代理人： | 刘艳 |
| 分类号： | G01N21/73(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/73 |
| 申请人地址： | 550003 贵州省贵阳市云岩区蔡关路1号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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