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排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法
| 专利名称： | 排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法，涉及晶片加工技术领域，以解决现有绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行的技术问题。本发明所述的排线自适应装置中，卷径适应轴固定在支座的孔内，卷径适应座安装在卷径适应轴上，导轮座安装在卷径适应座左端，导轮安装在导轮座上，配重座安装在卷径适应座右端，配重滑板安装在配重座上方，固定杆竖直插入到配重滑板的螺纹孔内，配重固定在固定杆上；前后适应架固定在支座左端，前后适应座固定在前后适应架前端，两根前后适应轴分别支撑在前后适应座中，挡片安装在前后适应轴顶端，接触滑轮安装在前后适应轴下端，两个感应传感器固定在前后适应座右端。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 发明人： | 袁立伟;丁彭刚 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810016643.3 |
| 公开号： | CN108015915A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 王献茹 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04;B28D5/00 |
| 申请人地址： | 100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号 |
| 主权项： | 一种排线自适应装置，其特征在于，包括：支座(1)，卷径适应机构和前后适应机构；所述卷径适应机构包括：卷径适应轴(2)，卷径适应座(3)，导轮座(4)，导轮(5)，配重座(6)，配重滑板(7)，固定杆(8)和配重(9)；所述前后适应机构包括：前后适应架(10)，前后适应座(11)，前后适应轴(12)，前后适应压板(13)，轴承螺帽(14)，挡片(15)，接触滑轮(16)和感应传感器；所述支座(1)的右端固定在排线滑板上，所述卷径适应机构固定在所述支座(1)的前端，所述前后适应机构固定在所述支座(1)的左端；所述卷径适应轴(2)固定在所述支座(1)的孔内，所述卷径适应座(3)通过两个轴承支撑安装在所述卷径适应轴(2)上，所述导轮座(4)安装在所述卷径适应座(3)的左端，所述导轮(5)安装在所述导轮座(4)上，所述配重座(6)安装在所述卷径适应座(3)的右端，所述配重滑板(7)安装在所述配重座(6)的上方，所述固定杆(8)竖直插入到所述配重滑板(7)的螺纹孔内，所述配重(9)通过螺母固定在所述固定杆(8)上；所述前后适应架(10)固定在所述支座(1)的左端，所述前后适应座(11)固定在所述前后适应架(10)的前端，两根所述前后适应轴(12)分别通过一对轴承支撑在所述前后适应座(11)中，所述前后适应压板(13)同时压紧两个轴承外圈并固定在所述前后适应座(11)上，所述轴承螺帽(14)通过所述前后适应轴(12)上的螺纹压紧轴承内圈，所述挡片(15)通过螺母安装在所述前后适应轴(12)的顶端，所述接触滑轮(16)安装在所述前后适应轴(12)的下端，两个所述感应传感器固定在所述前后适应座(11)的右端。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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