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一种多晶硅生产用氢气中磷化氢含量的检测方法
| 专利名称： | 一种多晶硅生产用氢气中磷化氢含量的检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开一种多晶硅生产用氢气中磷化氢含量的检测方法，包括：利用含内衬PTFE涂层的采样钢瓶进行采集多晶硅生产用氢气，得到样品气体；直接利用火焰光度气相色谱法检测样品气体中磷化氢的含量，即得；取样时间短，降低杂质的引入，得到的样品气体代表性好，提高工作效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 四川永祥新能源有限公司 |
| 发明人： | 李向东;甘居富;游书华;彭中;吴作木;曾一文 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811012882.8 |
| 公开号： | CN109142575A |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
| 代理人： | 王学强;罗满 |
| 分类号： | G01N30/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30 |
| 申请人地址： | 614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号 |
| 主权项： | 1.一种多晶硅生产用氢气中磷化氢含量的检测方法，其特征在于，包括：利用含内衬PTFE涂层的采样钢瓶进行采集多晶硅生产用氢气，得到样品气体；直接利用火焰光度气相色谱法检测样品气体中磷化氢的含量，即得。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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