专利名称: |
附着物收集装置以及检查系统 |
摘要: |
为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
日本;JP |
申请人: |
株式会社日立制作所 |
发明人: |
熊野峻;杉山益之;永野久志;生井诚;伊藤孝广 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201780032937.9 |
公开号: |
CN109196329A |
代理机构: |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人: |
张敬强;金成哲 |
分类号: |
G01N1/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1 |
申请人地址: |
日本东京都 |
主权项: |
1.一种附着物收集装置,其特征在于,具备:具有多个喷出气体的喷出口的面;使对象物从上述面分离的隔离物;以及回收朝向上述对象物喷出的上述气体的回收口,利用上述气体来收集附着于上述对象物的附着物。 |
所属类别: |
发明专利 |