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原文传递检查装置、检查系统以及检查方法

专利名称：	检查装置、检查系统以及检查方法
摘要：	一种检查装置、检查系统以及检查方法，提供能够迅速地实施针对检查对象的多个项目的检查。检查装置的特征在于，具备：分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；形状检查部，使用各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及颜色检查部，使用各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	精工爱普生株式会社
发明人：	小口智;久利龙平;金井政史
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-10T00:00:00+0800
申请号：	CN201910149170.9
公开号：	CN110220922A
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	潘树志
分类号：	G01N21/956(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京
主权项：	1.一种检查装置，其特征在于，具备：分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；形状检查部，使用各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及颜色检查部，使用各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色。 2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述分光摄像部具备：波长可变干扰滤波器，具备彼此相对的一对反射膜和变更所述一对反射膜之间的间隙的尺寸的间隙变更部；以及摄像元件，对透射所述波长可变干扰滤波器的光进行拍摄。 3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，所述检查装置具备摄像保持臂，所述摄像保持臂保持所述分光摄像部，并能够相对于所述检查对象相对移动。 4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，所述分光摄像部隔着缓冲材料而保持于所述摄像保持臂。 5.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，所述检查装置具备输送所述检查对象的输送臂，所述输送臂具备：把持部，把持所述检查对象；以及摄像保持部，在与被所述把持部把持的所述检查对象相对的位置保持所述分光摄像部。 6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，所述分光摄像部隔着缓冲材料而保持于所述摄像保持部。 7.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，具备：输送臂，输送所述检查对象；输送控制器，控制所述输送臂的驱动；以及视觉控制器，设置有控制所述分光摄像部的分光控制部、所述形状检查部以及所述颜色检查部。 8.根据权利要求7所述的检查装置，其特征在于，所述输送控制器根据从所述视觉控制器输入的输入信号来控制所述输送臂的驱动，并将所述检查对象输送到与所述形状检查部的形状检查结果和所述颜色检查部的颜色检查结果相应的位置。 9.根据权利要求8所述的检查装置，其特征在于，在通过所述形状检查部检测出预定尺寸以上的缺陷时，所述输送控制器将所述检查对象输送到第一输送位置，在通过所述形状检查部未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且通过所述颜色检查部检测出的色度偏离预定的基准范围时，所述输送控制器将所述检查对象输送到第二输送位置，在通过所述形状检查部未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且通过所述颜色检查部检测出的色度在所述基准范围的范围内时，所述输送控制器将所述检查对象输送到第三输送位置。 10.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述检查装置具备基准物，所述基准物已知对通过所述分光摄像部而分光的光的波长的光学特性。 11.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述形状检查部使用各波长的所述分光图像中波长最短的所述分光图像来检查所述形状。 12.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述形状检查部使用与来自所述检查对象的光的光量达到峰值的波长对应的所述分光图像来检查所述形状。 13.一种检查系统，其特征在于，具备：权利要求1至12中任一项所述的检查装置；以及输送机构，将通过所述检查装置检查后的检查对象输送到预定位置。 14.根据权利要求13所述的检查系统，其特征在于，所述检查系统具备显示校正部，在所述检查对象通过自发光显示图像时，所述显示校正部校正显示于所述检查对象的图像的显示颜色，在通过形状检查部未检测出预定尺寸以上的缺陷且通过颜色检查部检测出的色度偏离预定的基准范围时，所述输送机构将所述检查对象输送到所述显示校正部。 15.一种检查方法，其特征在于，实施：分光摄像步骤，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；形状检查步骤，使用在所述分光摄像步骤中拍摄到的各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及颜色检查步骤，使用在所述分光摄像步骤中拍摄到的各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色。
所属类别：	发明专利