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原文传递检查装置以及检查方法

专利名称：	检查装置以及检查方法
摘要：	本发明涉及检查装置以及检查方法。能高精度且高速地进行对象物的检查。具有电磁波接收区域的传感器在圆形外形面的俯视观察下越是远离中心的位置越适合移动快的被摄体的拍摄。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	住友化学株式会社
发明人：	加集功士;四宫由隆;屋铺大三郎
专利状态：	有效
申请号：	CN201811034810.3
公开号：	CN109470723A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：	齐秀凤
分类号：	G01N23/04(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	日本国东京都
主权项：	1.一种检查装置，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，上述检查装置的特征在于，关于被提供用于检查的状态的上述对象物而具备：对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
所属类别：	发明专利