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原文传递图像检查装置以及图像检查方法

专利名称：	图像检查装置以及图像检查方法
摘要：	本发明提供一种不需要摄像部与照明装置之间的校准，而能够进行对象物的检查的图像检查装置以及图像检查方法。图像检查装置包括：摄像部，拍摄对象物；透光性的照明部，配置在对象物与摄像部之间；以及控制部，构成为控制摄像部及照明部。照明部在第1扫描中从第1方向朝对象物照射光，并且使光进行扫描，在第2扫描中从第2方向朝对象物照射光，并且使光进行扫描。摄像部在第1及第2扫描的期间拍摄对象物。控制部根据在照明部的第1扫描及第2扫描时所拍摄的对象物的图像，确定对于对象物表面的测定点进行照明时的照明部的发光位置，并基于所确定的发光位置与第1方向及第2方向，来算出直至测定点为止距离。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	欧姆龙株式会社
发明人：	加藤豊;稲积伸悟
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201910026835.7
公开号：	CN110186927A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	杨文娟;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮政编码:600-8530)
主权项：	1.一种图像检查装置，其特征在于，包括：摄像部，拍摄对象物；透光性的照明部，配置在所述对象物与所述摄像部之间，具有朝向所述对象物照射光的发光面，且构成为能控制所述发光面中的发光位置及所述光的照射方向；以及控制部，构成为控制所述摄像部及所述照明部，所述控制部在所述照明部的第1扫描中，使所述照明部从第1方向朝所述对象物照射光，并且使所述发光面中的所述发光位置发生变化，由此来使所述光进行扫描，在所述第1扫描的期间，使所述摄像部拍摄所述对象物，在所述照明部的第2扫描中，使所述照明部从与所述第1方向不同的第2方向朝所述对象物照射所述光，并且使所述发光面中的所述发光位置发生变化，由此来使所述光进行扫描，在所述第2扫描的期间，使所述摄像部拍摄所述对象物，所述控制部根据在所述第1扫描及所述第2扫描时所拍摄的所述对象物的图像，确定对所述对象物表面的测定点进行照明时的所述照明部的所述发光位置，并基于所确定的发光位置与所述第1方向及所述第2方向，来算出直至所述测定点为止的距离。 2.根据权利要求1所述的图像检查装置，其特征在于，所述摄像部在所述第1扫描时多次拍摄所述对象物，以制作多个第1拍摄图像，在所述第2扫描时多次拍摄所述对象物，以制作多个第2拍摄图像，所述控制部根据所述多个第1拍摄图像来制作第1处理图像，所述第1处理图像具有与第1发光位置相关的信息，所述第1发光位置是用于对所述对象物的所述测定点进行照明的所述发光位置，所述控制部根据所述多个第2拍摄图像来制作第2处理图像，所述第2处理图像具有与第2发光位置相关的信息，所述第2发光位置是用于对所述对象物的所述测定点进行照明的所述发光位置，所述控制部根据所述第1处理图像中所含的所述第1发光位置的信息、所述第2处理图像中所含的所述第2发光位置的信息、所述第1方向及所述第2方向，来算出所述距离。 3.根据权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，在所述第1扫描及所述第2扫描中，所述照明部将线状的所述光照射至所述对象物，所述控制部根据所述多个第1拍摄图像，将与所述测定点对应的像素的亮度达到最大时的所述照明部的所述发光位置决定为所述第1发光位置，并使所述第1发光位置包含在像素的信息中，由此来制作所述第1处理图像，所述控制部根据所述多个第2拍摄图像，将与所述测定点对应的像素的亮度达到最大时的所述照明部的所述发光位置决定为所述第2发光位置，并使所述第2发光位置包含在像素的信息中，由此来制作所述第2处理图像。 4.根据权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，在所述第1扫描及所述第2扫描中，所述照明部将条纹图形的所述光照射至所述对象物，且使所述条纹图形的相位发生变化，由此来产生与所述光的扫描等价的状态，所述控制部根据所述多个第1拍摄图像，使所述条纹图形的第1相位的信息作为与所述第1发光位置相关的信息而包含在像素的信息中，由此来制作所述第1处理图像，所述控制部根据所述多个第2拍摄图像，使所述条纹图形的第2相位的信息作为与所述第2发光位置相关的信息而包含在像素的信息中，由此来制作所述第2处理图像。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，所述照明部包括：多个发光部，排列成矩阵状，且构成为能选择性地发光；以及光学系统，构成为，将从所述多个发光部的各个发出的所述光的所述照射方向，控制为与各所述多个发光部的位置对应的方向。 6.根据权利要求5所述的图像检查装置，其特征在于，所述光学系统包含与所述多个发光部分别相向地设置的多个微透镜。 7.根据权利要求6所述的图像检查装置，其特征在于，所述多个微透镜被配置成，所述多个微透镜中的至少一部分微透镜的光轴与跟所述至少一部分微透镜相向的发光部的光轴偏离。 8.根据权利要求7所述的图像检查装置，其特征在于，所述照明部被划分为多个照明要素，在所述多个照明要素中的至少一个照明要素中，所述至少一部分微透镜以比所述发光部的间距小的间距而配置。 9.根据权利要求6所述的图像检查装置，其特征在于，所述多个微透镜被配置成，所述多个微透镜中的至少一部分微透镜的光轴相对于跟所述至少一部分微透镜相向的发光部的光轴而倾斜。 10.根据权利要求6所述的图像检查装置，其特征在于，所述照明部还包括遮光部，所述遮光部构成为，遮挡从所述多个发光部出射的光中的、从所述多个微透镜各自的周围泄漏的光。 11.一种图像检查方法，是图像检查装置的图像检查方法，所述图像检查装置包括：摄像部，拍摄对象物；透光性的照明部，配置在所述对象物与所述摄像部之间，具有朝向所述对象物照射光的发光面，且构成为能控制所述发光面中的发光位置及所述光的照射方向；以及控制部，构成为控制所述摄像部及所述照明部，所述图像检查方法的特征在于包括下述步骤：在第1扫描中，所述照明部从第1方向朝所述对象物照射光，并且使所述发光面中的所述发光位置发生变化，由此来使所述光进行扫描，在所述第1扫描的期间，所述摄像部拍摄所述对象物；在第2扫描中，所述照明部从与所述第1方向不同的第2方向朝所述对象物照射所述光，并且使所述发光面中的所述发光位置发生变化，由此来使所述光进行扫描，在所述第2扫描的期间，所述摄像部拍摄所述对象物；以及所述控制部根据在所述第1扫描及所述第2扫描时所拍摄的所述对象物的图像，确定对所述对象物表面的测定点进行照明时的所述照明部的所述发光位置，并基于所确定的发光位置与所述第1方向及所述第2方向，来算出直至所述测定点为止的距离。 12.根据权利要求11所述的图像检查方法，其特征在于，在所述第1扫描的期间所述摄像部拍摄所述对象物的步骤包括：所述摄像部多次拍摄所述对象物，以制作多个第1拍摄图像的步骤，在所述第2扫描的期间所述摄像部拍摄所述对象物的步骤包括：所述摄像部多次拍摄所述对象物，以制作多个第2拍摄图像的步骤，算出所述距离的步骤包括下述步骤：所述控制部根据所述多个第1拍摄图像来制作第1处理图像，所述第1处理图像具有与第1发光位置相关的信息，所述第1发光位置是用于对所述对象物的所述测定点进行照明的所述发光位置；所述控制部根据所述多个第2拍摄图像来制作第2处理图像，所述第2处理图像具有与第2发光位置相关的信息，所述第2发光位置是用于对所述对象物的所述测定点进行照明的所述发光位置；以及根据所述第1处理图像中所含的所述第1发光位置的信息、所述第2处理图像中所含的所述第2发光位置的信息、所述第1方向及所述第2方向，来算出所述距离。 13.根据权利要求12所述的图像检查方法，其特征在于，所述照明部朝所述对象物照射所述光的步骤包括：所述照明部将线状图形的所述光照射至所述对象物的步骤，制作所述第1处理图像的步骤包括下述步骤，即，所述控制部根据所述多个第1拍摄图像，将与所述测定点对应的像素的亮度达到最大时的所述照明部的所述发光位置决定为所述第1发光位置，并使所述第1发光位置包含在像素的信息中，由此来制作所述第1处理图像，制作所述第2处理图像的步骤包括下述步骤，即，所述控制部根据所述多个第2拍摄图像，将与所述测定点对应的像素的亮度达到最大时的所述照明部的所述发光位置决定为所述第2发光位置，并使所述第2发光位置包含在像素的信息中，由此来制作所述第2处理图像。 14.根据权利要求12所述的图像检查方法，其特征在于，所述照明部朝所述对象物照射所述光的步骤包括下述步骤，即，所述照明部将条纹图形的所述光照射至所述对象物，且使所述条纹图形的相位发生变化，由此来产生与所述光的扫描等价的状态，制作所述第1处理图像的步骤包括下述步骤，即，所述控制部根据所述多个第1拍摄图像，使所述条纹图形的第1相位的信息作为与所述第1发光位置相关的信息而包含在像素的信息中，由此来制作所述第1处理图像，制作所述第2处理图像的步骤包括下述步骤，即，所述控制部根据所述多个第2拍摄图像，使所述条纹图形的第2相位的信息作为与所述第2发光位置相关的信息而包含在像素的信息中，由此来制作所述第2处理图像。
所属类别：	发明专利