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原文传递图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序

专利名称：	图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序
摘要：	本发明提供一种图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序。图像检查装置包括：一个以上的拍摄部，拍摄检查对象物；照明部，对检查对象物照射光；拍摄条件的控制部，包含移动部，所述移动部用于使拍摄部、检查对象物、照明部中的至少两个的相对位置关系发生变化；搜索部，对拍摄部在第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从检查对象物中搜索缺陷候补；以及判定部，对拍摄部所拍摄的图像进行分析，并判定检查对象物的缺陷有无。在从检查对象物找出缺陷候补时，控制部对拍摄条件进行控制，以在比第1拍摄条件清晰的第2拍摄条件下拍出搜索部找出缺陷候补的部位，判定部对拍摄部在第2拍摄条件下拍摄的图像进行分析，以判定检查对象物的缺陷有无。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	欧姆龙株式会社
发明人：	稲积伸悟;加藤豊
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201811503408.5
公开号：	CN110231346A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	杨贝贝;臧建明
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮编:600-8530)
主权项：	1.一种图像检查装置，利用图像来对检查对象物进行检查，其特征在于，所述图像检查装置包括：一个以上的拍摄部，拍摄所述检查对象物；照明部，对所述检查对象物照射光；拍摄条件的控制部，包含移动部，所述移动部用于针对所述拍摄部、所述检查对象物、所述照明部中的至少两个，使彼此的相对位置关系发生变化；搜索部，对所述拍摄部在第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物中搜索缺陷候补；以及判定部，对所述拍摄部所拍摄的图像进行分析，并判定所述检查对象物的缺陷有无，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部对拍摄条件进行控制，以在比所述第1拍摄条件清晰的第2拍摄条件下拍出所述搜索部找出缺陷候补的部位，所述判定部对所述拍摄部在所述第2拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并判定所述检查对象物的缺陷有无。 2.根据权利要求1所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部对所述拍摄部以第1分辨率拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物搜索缺陷候补，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部变更所述拍摄部相对于所述检查对象物的相对位置、或所述拍摄部的视野，以利用分辨率比所述第1分辨率高的第2分辨率来拍出所述搜索部找出缺陷候补的部位。 3.根据权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部通过所述控制部将所述拍摄部移动到第1位置而对以所述第1分辨率拍出的所述检查对象物的图像进行分析，并从所述检查对象物搜索缺陷候补，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部将所述拍摄部的位置移动到比所述第1位置更靠近所述检查对象物的第2位置，以利用所述第2分辨率来拍出所述搜索部找出缺陷候补的部位。 4.根据权利要求1所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部在从所述检查对象物找出缺陷候补时，算出包含所述缺陷候补的位置的所述缺陷候补的特征量，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部基于所述搜索部所算出的所述特征量，来变更所述拍摄部的光轴与所述检查对象物的相对角度、所述照明部与所述检查对象物的相对位置、所述照明部的光轴与所述检查对象物的相对角度中的至少一个，以在所述第2拍摄条件下拍出所述搜索部找出缺陷候补的部位。 5.根据权利要求1所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部对第1拍摄部在所述第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物搜索缺陷候补，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部对拍摄条件进行控制，以使所述搜索部找出缺陷候补的部位在所述第2拍摄条件下在与所述第1拍摄部不同的第2拍摄部的图像中拍出。 6.根据权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部对第1拍摄部在所述第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物搜索缺陷候补，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部对拍摄条件进行控制，以使所述搜索部找出缺陷候补的部位在所述第2拍摄条件下在与所述第1拍摄部不同的第2拍摄部的图像中拍出。 7.根据权利要求4所述的图像检查装置，其特征在于，所述搜索部对第1拍摄部在所述第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物搜索缺陷候补，在所述搜索部从所述检查对象物找出缺陷候补时，所述控制部对拍摄条件进行控制，以使所述搜索部找出缺陷候补的部位在所述第2拍摄条件下在与所述第1拍摄部不同的第2拍摄部的图像中拍出。 8.根据权利要求1至7中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，在所述搜索部从所述检查对象物找出多个缺陷候补时，所述控制部对拍摄条件进行控制，以从所述搜索部找出的多个缺陷候补中的表示缺陷程度的值大的候补部位开始优先地以所述第2拍摄条件而拍出。 9.根据权利要求8所述的图像检查装置，其特征在于，在拍出由所述搜索部找出的多个缺陷候补中的至少一个的图像中存在缺陷时，所述判定部省略拍出其他缺陷候补的图像的分析。 10.一种图像检查方法，利用图像来对检查对象物进行检查，其特征在于，所述图像检查方法包括：搜索工序，对拍摄所述检查对象物的拍摄部在第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物中搜索缺陷候补；控制工序，通过拍摄条件的控制部对拍摄条件进行控制，所述控制部包含移动部，所述移动部用于使所述拍摄部、所述检查对象物、对所述检查对象物照射光的照明部中的至少两个的彼此的相对位置关系发生变化，使得在所述搜索工序中从所述检查对象物中找出缺陷候补时，在比所述第1拍摄条件清晰的第2拍摄条件下拍出在所述搜索工序中找出缺陷候补的部位；以及判定工序，对所述拍摄部在所述第2拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并判定所述检查对象物的缺陷有无。 11.一种图像检查程序，利用图像来对检查对象物进行检查，其特征在于，所述图像检查程序使计算机执行下述工序：搜索工序，对拍摄所述检查对象物的拍摄部在第1拍摄条件下拍摄的图像进行分析，并从所述检查对象物中搜索缺陷候补；控制工序，通过拍摄条件的控制部对拍摄条件进行控制，所述控制部包含移动部，所述移动部用于使所述拍摄部、所述检查对象物、对所述检查对象物照射光的照明部中的至少两个的彼此的相对位置关系发生变化，使得在所述搜索工序中从所述检查对象物中找出缺陷候补时，在比所述第1拍摄条件清晰的第2拍摄条件下拍出在所述搜索工序中找出缺陷候补的部位；以及判定工序，对所述拍摄部在所述第2拍摄条件下拍摄的图像进行分析，以判定所述检查对象物的缺陷有无。
所属类别：	发明专利