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原文传递异物检查装置以及异物检查方法

专利名称：	异物检查装置以及异物检查方法
摘要：	本发明提供一种异物检查装置以及异物检查方法。实现检查的高效化，并且减少异物的检测遗漏的产生风险。异物检查装置(101)具备：使检查对象物(1)平行移动的移动机构(5)；作为TDI传感器的图像传感器(3)；存储部(41)；分别对应多个像素且对基于第1像素值而得到的第2像素值进行计算的像素值运算部(42)；和对属于特定的连续区域的像素群的各第2像素值进行累计的像素值累计部(44)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	住友化学株式会社
发明人：	加集功士
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910256072.5
公开号：	CN110333255A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	李国华
分类号：	G01N23/18(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	日本国东京都
主权项：	1.一种异物检查装置，具备：移动机构，使在电磁波的入射侧与该电磁波的出射侧之间具有厚度的检查对象物在相对于该厚度的方向大致垂直的方向平行移动；多个像素，构成利用透过上述检查对象物的电磁波而生成的图像，且被设置于TDI传感器，上述检查对象物通过上述移动机构而平行移动且包含异物；存储部，对分别与上述多个像素对应的第1像素值进行存储；像素值运算部，分别对应上述多个像素，对基于上述第1像素值而得到的第2像素值进行计算；和像素值累计部，对属于连续区域的像素群的各第2像素值进行累计。 2.一种异物检查装置，具备：旋转机构，使检查对象物按照在从电磁波的入射侧朝向该电磁波的出射侧的方向延伸的轴来旋转；多个像素，构成利用透过上述检查对象物的电磁波而生成的图像，且被设置于TDI传感器，上述检查对象物通过上述旋转机构而旋转并包含异物；存储部，对分别与上述多个像素对应的第1像素值进行存储；像素值运算部，分别对应上述多个像素，对基于上述第1像素值而得到的第2像素值进行计算；和像素值累计部，对属于连续区域的像素群的各第2像素值进行累计。 3.根据权利要求1或2所述的异物检查装置，其中，上述异物含有相比于上述检查对象物使上述透过的电磁波更大地衰减的材质。 4.根据权利要求1～3的任意一项所述的异物检查装置，其中，上述像素值累计部将上述多个像素分别设为关注像素，对属于包含该关注像素的上述连续区域的像素群的上述各第2像素值进行累计，从而设为该关注像素的累计值。 5.根据权利要求1～4的任意一项所述的异物检查装置，其中，上述连续区域是比包含上述图像中的异物的模糊所对应的全部像素的区域大的区域。 6.根据权利要求1～5的任意一项所述的异物检查装置，其中，上述像素值累计部根据假定设为检测对象的上述异物的形状，分别对上述各第2像素值进行加权并得到累计值。 7.一种异物检查方法，包含：移动工序，使在电磁波的入射侧与该电磁波的出射侧之间具有厚度的检查对象物在相对于该厚度的方向大致垂直的方向平行移动；由设置于TDI传感器的多个像素构成利用透过上述检查对象物的电磁波而生成的图像的工序，上述检查对象物在上述移动工序中被平行移动并包含异物；存储工序，对分别与上述多个像素对应的第1像素值进行存储；像素值运算工序，分别对应上述多个像素，对基于上述第1像素值而得到的第2像素值进行计算；和像素值累计工序，对属于连续区域的像素群的各第2像素值进行累计。 8.一种异物检查方法，包含：旋转工序，使检查对象物按照在从电磁波的入射侧朝向该电磁波的出射侧的方向延伸的轴来旋转；由设置于TDI传感器的多个像素构成利用透过上述检查对象物的电磁波而生成的图像的工序，上述检查对象物在上述旋转工序中被旋转并包含异物；存储工序，对分别与上述多个像素对应的第1像素值进行存储；像素值运算工序，分别对应上述多个像素，对基于上述第1像素值而得到的第2像素值进行计算；和像素值累计工序，对属于连续区域的像素群的各第2像素值进行累计。
所属类别：	发明专利