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原文传递异物检查装置以及异物检查方法

专利名称：	异物检查装置以及异物检查方法
摘要：	本发明涉及异物检查装置以及异物检查方法。减低异物的检测遗漏的可能。主面的法线方向相对于电磁波产生源放出的电磁波的强度最高的方向倾斜。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	住友化学株式会社
发明人：	加集功士
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910256198.2
公开号：	CN110333256A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	李国华
分类号：	G01N23/18(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	日本国东京都
主权项：	1.一种异物检查装置，其特征在于，具备：对检查对象物照射电磁波的电磁波产生源；和具有主面的图像传感器，该主面设有构成透过上述检查对象物的上述电磁波的图像的大量像素，上述主面的法线方向相对于上述电磁波产生源放出的电磁波的强度最高的方向倾斜。 2.根据权利要求1所述的异物检查装置，其特征在于，上述大量像素具有多个像素在第1方向上排列而成的检查段在与该第1方向垂直的第2方向上排列多个的结构，上述主面的法线方向以在上述第1方向上延伸的轴转动而倾斜。 3.根据权利要求1或2所述的异物检查装置，其特征在于，上述电磁波产生源发出具有扩散的上述电磁波。 4.根据权利要求1～3中任一项所述的异物检查装置，其特征在于，上述检查对象物包含薄膜在与上述电磁波产生源放出的电磁波的强度最高的方向垂直的方向上层叠的层叠体，上述主面的法线方向向上述层叠体中的层叠的方向倾斜。 5.一种异物检查方法，其特征在于，包含如下工序：对检查对象物照射电磁波；和由设于图像传感器的主面的大量像素构成透过上述检查对象物的上述电磁波的图像的工序，使上述主面的法线方向相对于对上述检查对象物照射的电磁波的强度最高的方向倾斜来配置上述图像传感器。 6.根据权利要求5所述的异物检查方法，其特征在于，上述大量像素具有多个像素在第1方向上排列而成的检查段在与该第1方向垂直的第2方向上排列多个的结构，使上述主面的法线方向以在上述第1方向上延伸的轴转动而倾斜，来配置上述图像传感器。 7.根据权利要求5或6所述的异物检查方法，其特征在于，发出具有扩散的上述电磁波。 8.根据权利要求5～7中任一项所述的异物检查方法，其特征在于，上述检查对象物包含薄膜在与对上述检查对象物照射的电磁波的强度最高的方向垂直的方向上层叠的层叠体，使上述主面的法线方向向上述层叠体中的层叠的方向倾斜来配置上述图像传感器。
所属类别：	发明专利