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一种用于半导体基板储存运输的转运舱
| 专利名称： | 一种用于半导体基板储存运输的转运舱 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体基板储存运输的转运舱，其技术方案要点是包括上端开口的舱体，舱体内的两窄侧面上呈对称分别设置有相互配合的放置装置，放置装置在舱体内呈上下垂直方向均匀设置有至少一层，舱体的上端开口处设置有风幕密封装置，舱体外侧设置有控制器和外接电源端口，放置装置上设置有第一检测装置，舱体的上端开口处设置有第二检测装置，第一检测装置和第二检测装置均电性连接控制器的输入端，控制器的输出端电性连接放置装置和风幕密封装置的控制端。本发明能够降低基板转运过程中出现颗粒污染，且能够提高基板转运效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 刘林琴 |
| 发明人： | 刘林琴 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811119002.7 |
| 公开号： | CN109230317A |
| 代理机构： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 |
| 代理人： | 王程远 |
| 分类号： | B65G35/00(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G35 |
| 申请人地址： | 448000 湖北省荆门市掇刀区团林镇青龙村八组 |
| 主权项： | 1.一种用于半导体基板储存运输的转运舱，其特征在于：包括上端开口的舱体，所述舱体内的两窄侧面上呈对称分别设置有相互配合的放置装置，所述放置装置在舱体内呈上下垂直方向均匀设置有至少一层，所述舱体的上端开口处设置有风幕密封装置，所述舱体外侧设置有控制器和外接电源端口，所述放置装置上设置有第一检测装置，所述舱体的上端开口处设置有第二检测装置，所述第一检测装置和第二检测装置均电性连接控制器的输入端，所述控制器的输出端电性连接放置装置和风幕密封装置的控制端，所述外接电源端口的输入端连接外部市电，外接电源端口的输出端分别连接控制器、放置装置、风幕密封装置、第一检测装置和第二检测装置的电源端。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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