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一种基于N型硅基底的简易脆性测试方法
| 专利名称： | 一种基于N型硅基底的简易脆性测试方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于N型硅基底的脆性测试方法，包括如下步骤：（1）基于公知常识，推导出针对N型硅基底的新的脆性系数计算法；（2）构建静态测试平台；（3）根据推导公式，判断测试N型硅基底脆性大小。本发明其可以针对不同状态下的N型硅基底进行脆性量化测试，根据脆性值的大小从而准确找出硼扩散温度、时间、BSG厚度、磷扩温度、时间等工艺参数的范围。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 发明人： | 瞿辉;曹玉甲;汤佳丽 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811043356.8 |
| 公开号： | CN109283065A |
| 代理机构： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 |
| 代理人： | 朱晓凯 |
| 分类号： | G01N3/20(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3 |
| 申请人地址： | 213164 江苏省常州市武进高新技术产业开发区阳湖路99号 |
| 主权项： | 1.一种基于N型硅基底的简易脆性测试方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）基于公知常识，推导出针对N型硅基底的新的脆性系数计算法：基于N型硅基底因外界承重的变化从而产生的形变，其脆性系数可按如下公式计算： |
| 所属类别： | 发明专利 |
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