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一种MEMS湿度传感器及其操作方法
| 专利名称： | 一种MEMS湿度传感器及其操作方法 |
| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种MEMS湿度传感器及其操作方法，该湿度传感器包括衬底、位于衬底上方的第一绝缘层，位于第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，压电传感器单元与电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当显示开关单元闭合且重置开关单元断开时，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。上述MEMS湿度传感器无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 东南大学 |
| 发明人： | 黄晓东;李帆;黄见秋;黄庆安 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811366146.2 |
| 公开号： | CN109283224A |
| 代理机构： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
| 代理人： | 楼高潮 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道99号 |
| 主权项： | 1.一种MEMS湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括衬底、位于所述衬底上方的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，所述压电传感器单元与所述电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，所述电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当所述显示开关单元闭合且所述重置开关单元断开时，所述压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在所述压电电压作用下所述电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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