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原文传递一种MEMS温湿度传感器

专利名称：	一种MEMS温湿度传感器
摘要：	一种MEMS温湿度传感器，包括基板，设置在基板上的温度传感电路和湿度传感电路；所述湿度传感电路包括第一电极电路与第二电极电路，第一电极电路的线路和第二电极电路的线路相互交错平行且非导通，且相互交错平行的区域覆盖有高分子感湿材料层，所述温度传感电路和湿度传感电路共用第二焊盘。本实用新型通过设置第一电极电路与第二电极电路并且让其相互交错平行且非导通，从而实现在基板平面上完成湿度传感电路的布置，避免温湿度传感器布置的高度过高，减少了整个温湿度传感器占用的空间，且温度传感电路和湿度传感电路共用第二焊盘，提高了第二焊盘的利用率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州九思科技有限公司
发明人：	杨启飞;廖胜楼
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820167274.3
公开号：	CN207850976U
代理机构：	广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人：	郑永泉;邱奕才
分类号：	G01N27/22(2006.01)I;G01K7/24(2006.01)I;G;G01;G01N;G01K;G01N27;G01K7;G01N27/22;G01K7/24
申请人地址：	510000 广东省广州市黄埔区科学城优宝科技园A栋503
主权项：	1.一种MEMS温湿度传感器，其特征在于，包括基板，设置在基板上的温度传感电路和湿度传感电路；所述湿度传感电路包括第一电极电路与第二电极电路，所述第一电极电路包括多根相互平行的线路，所述第二电极电路包括多根相互平行的线路，第一电极电路的线路和第二电极电路的线路相互交错平行且非导通，且相互交错平行的区域覆盖有高分子感湿材料层，处于非交错部位的第一电极电路的线路的端部连接有第一焊盘，处于非交错部位的第二电极电路的线路的端部连接有第二焊盘；所述温度传感电路包括第二焊盘和第三焊盘，所述温度传感电路和湿度传感电路共用第二焊盘。
所属类别：	实用新型