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原文传递一种阵列型MEMS气体传感器

专利名称：	一种阵列型MEMS气体传感器
摘要：	一种阵列型MEMS气体传感器，包括基底、位于基底上端的电控机构、位于电控机构上端且与所述电控机构电路互联的传感平台及位于传感平台上端的气体传感器阵列，所述气体传感器阵列包括一个以上的气体传感器，所述气体传感器阵列上设有气体渗透型薄膜；所述气体传感器与所述传感平台之间设有一个隔热腔；所述电控机构及所述传感平台通过单片集成工艺与所述基底一体化制成。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	烟台博昊信息科技有限公司
发明人：	孙书敏
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201711467754.8
公开号：	CN109991363A
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	264006 山东省烟台市经济技术开发区万寿山路5号内1号楼
主权项：	1.一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：包括基底、位于基底上端的电控机构、位于电控机构上端且与所述电控机构电路互联的传感平台及位于传感平台上端的气体传感器阵列，所述气体传感器阵列包括一个以上的气体传感器，所述气体传感器阵列上设有气体渗透型薄膜。 2.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述气体传感器与所述传感平台之间设有一个隔热腔。 3.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述电控机构及所述传感平台通过单片集成工艺与所述基底一体化制成。 4.根据权利要求1或2所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述气体传感器为半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器中的一种或两种以上的组合。 5.根据权利要求1或2所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述传感平台为MEMS传感平台。 6.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述气体渗透型薄膜为二氧化硅材质。 7.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于：所述电控机构为集成在基底上的微处理器单元。
所属类别：	发明专利