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原文传递 MEMS氢传感器及氢感测系统

专利名称：	MEMS氢传感器及氢感测系统
摘要：	本发明公开一种MEMS氢传感器和氢感测系统，具体地，涉及一种MEMS氢传感器和包括MEMS氢传感器的系统。本发明的示例性实施例提供一种微机电系统(MEMS)氢传感器，包括：感测元件，感测氢气；防冰元件，围绕感测元件；以及补偿元件，具有与感测元件的电阻值相同的电阻值。
专利类型：	发明专利
申请人：	现代自动车株式会社;起亚株式会社
发明人：	金东求;金炫秀;俞一善
专利状态：	有效
申请日期：	2021-06-02T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-08T00:00:00+0800
申请号：	CN202110614479.8
公开号：	CN114152649A
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：	崔龙铉;赵赫
分类号：	G01N27/12;G01N31/10;G01N31/12;B81B7/00;B81B7/02;G;B;G01;B81;G01N;B81B;G01N27;G01N31;B81B7;G01N27/12;G01N31/10;G01N31/12;B81B7/00;B81B7/02
申请人地址：	韩国首尔;
主权项：	1.一种微机电系统即MEMS氢传感器，包括：感测元件，感测氢气；防冰元件，围绕所述感测元件；以及补偿元件，具有与所述感测元件的电阻值相同的电阻值。 2.根据权利要求1所述的MEMS氢传感器，进一步包括：催化剂层，位于所述感测元件的上部上，并与所述氢气反应。 3.根据权利要求2所述的MEMS氢传感器，其中，所述催化剂层是铂。 4.根据权利要求1所述的MEMS氢传感器，其中，所述感测元件位于所述MEMS氢传感器的中心，并且所述补偿元件位于所述感测元件的第一方向上。 5.根据权利要求4所述的MEMS氢传感器，其中，所述防冰元件包括：第一防冰元件和第二防冰元件，在与所述第一方向交叉的第二方向上位于所述感测元件的相对侧。 6.根据权利要求5所述的MEMS氢传感器，进一步包括：多个电极极板，分别位于所述感测元件、所述补偿元件、所述第一防冰元件和所述第二防冰元件的端部。 7.根据权利要求5所述的MEMS氢传感器，其中，所述MEMS氢传感器形成为单个元件。 8.根据权利要求7所述的MEMS氢传感器，其中，所述感测元件、所述补偿元件、所述第一防冰元件和所述第二防冰元件是惠斯通桥电路的四个电阻。 9.一种微机电系统即MEMS氢传感器，包括：第一感测元件，感测氢气；第二感测元件，感测所述氢气；以及第一防冰元件和第二防冰元件，围绕所述第一感测元件和所述第二感测元件。 10.根据权利要求9所述的MEMS氢传感器，其中，所述第一防冰元件位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的一侧；并且所述第二防冰元件位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的相对侧。 11.根据权利要求10所述的MEMS氢传感器，进一步包括：催化剂层，位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的上部。 12.根据权利要求11所述的MEMS氢传感器，其中，所述催化剂层是铂。 13.根据权利要求10所述的MEMS氢传感器，其中，所述第一感测元件和所述第一防冰元件的电阻值相同；并且所述第二感测元件和所述第二防冰元件的电阻值相同。 14.根据权利要求13所述的MEMS氢传感器，其中，所述第一防冰元件和所述第二防冰元件的电阻值响应于感测到氢气而增加。 15.一种微机电系统即MEMS氢感测系统，包括： MEMS氢传感器，包括：第一感测元件，感测氢气；第二感测元件，感测所述氢气；以及第一防冰元件和第二防冰元件，围绕所述第一感测元件和所述第二感测元件；温度传感器，感测外部温度；以及测量电路，利用来自所述温度传感器的温度感测值来补偿所述MEMS氢传感器的输出信号。 16.根据权利要求15所述的MEMS氢感测系统，其中，所述第一防冰元件位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的一侧；并且所述第二防冰元件位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的相对侧。 17.根据权利要求16所述的MEMS氢感测系统，其中，所述MEMS氢传感器进一步包括：催化剂层，位于所述第一感测元件和所述第二感测元件的上部。 18.根据权利要求17所述的MEMS氢感测系统，其中，所述催化剂层是铂。 19.根据权利要求16所述的MEMS氢感测系统，其中，所述第一感测元件和所述第一防冰元件的电阻值相同；并且所述第二感测元件和所述第二防冰元件的电阻值相同。 20.根据权利要求19所述的MEMS氢感测系统，其中，所述第一防冰元件和所述第二防冰元件的电阻值响应于感测到氢气而增加。
所属类别：	发明专利