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一种半导体湿度传感器及其操作方法
| 专利名称： | 一种半导体湿度传感器及其操作方法 |
| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种半导体湿度传感器及其操作方法，其包括：设置在基底上的传感器单元与电致变色单元，传感器单元包括依次设置于基底上的栅极、栅氧化层、半导体层、设置于半导体层上相对两侧的源极与漏极，源极分别与电致变色单元的第一电极和开关的一端相连，漏极与电源线相连，开关的另一端与电源的一端相连，电源的另一端与电致变色单元的第二电极分别与地线相连，传感器单元将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化显示湿度信息。上述半导体湿度传感器通过传感器单元将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化显示湿度信息，从而通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 东南大学 |
| 发明人： | 黄晓东;李帆 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811366834.9 |
| 公开号： | CN109490290A |
| 代理机构： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
| 代理人： | 楼高潮 |
| 分类号： | G01N21/78(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道99号 |
| 主权项： | 1.一种半导体湿度传感器，其特征在于，所述半导体湿度传感器包括：设置在基底上的传感器单元与电致变色单元，所述传感器单元包括依次设置于所述基底上的栅极、栅氧化层、半导体层、设置于所述半导体层上相对两侧的源极与漏极，所述源极分别与所述电致变色单元的第一电极和开关的一端相连，所述漏极与电源线相连，所述开关的另一端与电源的一端相连，所述电源的另一端与所述电致变色单元的第二电极分别与地线相连，所述传感器单元将湿度信息转化为电信号，所述电致变色单元接收所述电信号并通过颜色变化显示所述湿度信息。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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