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一种提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法
| 专利名称： | 一种提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法 |
| 摘要： | 本发明涉及高纯气体杂质检测领域，具体关于一种提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法；本发明方法公开的一种提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法，本方法分为低温分离吸附和杂质气体催化加氢以及杂质检测三个步骤，使用一种碳氧化物吸附加氢催化剂，使杂质气体在低温下被选择性吸附分离，然后在高温作用下，将特殊杂质一氧化碳、二氧化碳转化成甲烷，不仅能够提高分析灵敏度，而且分析效率和结果的准确性都得到了较大的提高。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江博瑞电子科技有限公司 |
| 发明人： | 李军;陈刚;张学良;夏添;张广第;杨建成;徐建仙;花永紧;陈立峰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811431056.7 |
| 公开号： | CN109307726A |
| 分类号： | G01N30/06(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30 |
| 申请人地址： | 324004 浙江省衢州市柯城区雨丝路28号 |
| 主权项： | 1.一种提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法，其技术方案如下：所述的提高高纯气体中特殊杂质检测灵敏度的方法通过对高纯气体中的一氧化碳、二氧化碳等特殊杂质的催化转化得到甲烷气体实现，其具体方案如下：在对气体进样分析前对气体进行前处理，将0.1‑1质量份的高纯气体从阀门通过质量流量计出口，通过吸附催化井后通过三通阀门排出，这时杂质被吸附在吸附催化井中；所述的吸附催化井此时处于低温冷井中；然后将低温冷井移除，同时套入加热井，通入0.05‑0.5质量份的高纯氢气，开始催化加氢；所述的催化按照以下程序进行升温，100‑200℃，0.1‑1h；300‑400℃，0.5‑1h；400‑500℃，0.1‑0.5h；完成催化后将三通阀门打到检测位子，将吸附催化井中的气体用载气带入到色谱仪进行分析；其特征在于所述的吸附催化井中含有10‑20份的碳氧化物吸附加氢催化剂。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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