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原文传递多晶硅锭的质量检验方法

专利名称：	多晶硅锭的质量检验方法
摘要：	多晶硅锭的质量检验方法，涉及多晶硅锭的质量检验方法，依次进行以下步骤：a.在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b.在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c.对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d.对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e.在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值。f.对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。本发明的有益效果是：可得到精确的判断硅锭质量优劣的数据，提高了硅锭质量控制的精确度，降低了劣质品带来的风险，提高了产成品的整体质量降低成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	贵州;52
申请人：	遵义市精科信检测有限公司
发明人：	田旭芳
专利状态：	有效
申请号：	CN201811404416.4
公开号：	CN109374685A
分类号：	G01N27/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	563100 贵州省遵义市播州区芶江镇贵州苟江经济开发区苟江标准厂房E栋
主权项：	1.多晶硅锭的质量检验方法，其特征在于依次进行以下步骤：a在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值；f对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。
所属类别：	发明专利