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原文传递 对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法
专利名称: 对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法
摘要: 本发明涉及硅锭后续加工技术领域,特别是一种对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法。该方法具有如下工艺步骤:A.将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;B.从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;C.将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;D.开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒。该方法少子寿命检测及低少子寿命层截除工序少、加工成本低,有利于提高产能。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 常州天合光能有限公司
发明人: 贺洁
专利状态: 有效
申请日期: 2010-07-28T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201010238223.3
公开号: CN101973072A
代理机构: 常州市维益专利事务所 32211
代理人: 王凌霄
分类号: B28D5/00(2006.01)I
申请人地址: 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
主权项: 一种对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法,其特征是:具有如下工艺步骤:A.将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;B.从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;C.将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;D.开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒。
所属类别: 发明专利
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