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一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法
| 专利名称： | 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法，属于光电技术检测领域。该装置包括测量头、旋转工件台、自动取样装置和喷淋装置。测量头包括传感器系统、照明系统和成像系统，照明系统为被测样品表面提供高均匀性和高亮度照明，旋转工件台和成像系统用于对光学表面区域的缺陷进行环带扫描和高分辨率散射成像。自动取样装置用作自动化生产中机械手自动夹取光学元件；喷淋设备一旦检测到表面上有灰尘、杂质等异物就被激活，用于准确去除被测件表面的灰尘、杂质等伪缺陷。本发明有效解决了大口径光学元件表面缺陷检测困难、效率低下的问题，可以快速测量大口径平面、球面和非球面光学元件的表面缺陷。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 发明人： | 全海洋;徐富超;付韬韬;胡小川;吴高峰;侯溪;伍凡;李声 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811330664.9 |
| 公开号： | CN109490313A |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 610209 四川省成都市双流350信箱 |
| 主权项： | 1.一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置，其特征在于：包括传感器系统(1)、成像系统(2)、照明系统(3)、大口径光学元件(4)、旋转工件台(5)、自动取样装置(6)、喷淋装置(7)和导轨(8)，其中传感器系统(1)、成像系统(2)和照明系统(3)构成测量头，竖直安装在导轨(8)上，实现大口径光学元件的多轴联动，包括沿X、Z轴的平动和绕Y轴的摆动，保证检测过程中测量头的光轴与大口径光学元件(4)表面法线始终保持一致；大口径光学元件(4)置于可绕Z轴360度旋转的旋转工件台(5)上，测量头配合旋转工件台(5)实现大口径光学元件(4)表面缺陷的全口径扫描测量；其中自动取样装置(6)固定在导轨(8)的支架上，自动取样装置(6)主要由机械手组成，自动取样装置(6)用于自动化生产中机械手自动夹取光学元件；喷淋装置(7)跟测量头保持联动关系，随测量头运动到被测表面指定位置，传感器系统(1)一旦检测到表面上有灰尘、杂质异物，喷淋装置(7)就被激活，用于准确去除被测件表面的灰尘、杂质伪缺陷。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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