专利名称: |
等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构 |
摘要: |
本实用新型涉及搬运机构技术领域,且公开了等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,包括主体杆,所述主体杆的底部固定安装有承重座,所述承重座的顶部且位于主体杆的外表面固定安装有支撑板,所述主体杆的内部开设有旋转动力槽,所述旋转动力槽的内部固定安装有运输电机,所述运输电机的输出轴上固定安装有调节座。该等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,通过设置了运输电机,达到了可使两个运输板交互旋转的效果,交互位置后可更换料板,通过设置了调节电机,达到了可调节两个运输板高度的效果,通过设置了限位卡柱,达到了可将料板稳固卡接于两个运输板的顶部的效果。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
深圳泰德半导体装备有限公司 |
发明人: |
谢育林;江辉;陈天元 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-11-20T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-08-27T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821913844.5 |
公开号: |
CN209306482U |
代理机构: |
深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
张娜 |
分类号: |
B65G47/80(2006.01);B;B65;B65G;B65G47 |
申请人地址: |
518103 广东省深圳市宝安区福永街道大洋路中粮(福安)机器人智造产业园12栋1楼整层、2楼A区 |
主权项: |
1.等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,包括主体杆(1),其特征在于:所述主体杆(1)的底部固定安装有承重座(18),所述承重座(18)的顶部且位于主体杆(1)的外表面固定安装有支撑板(19),所述主体杆(1)的内部开设有旋转动力槽(2),所述旋转动力槽(2)的内部固定安装有运输电机(3),所述运输电机(3)的输出轴上固定安装有调节座(4),所述调节座(4)的顶部固定安装有两个限位调节杆(11),两个所述限位调节杆(11)的顶部均固定安装有限位顶座(10),两个所述限位调节杆(11)的外表面均套接有旋转支撑座(9),所述调节座(4)的顶部开设有高度调节槽(16),所述旋转支撑座(9)的底部固定安装有延伸至高度调节槽(16)内部的高度传动杆(15),所述调节座(4)的右侧固定安装有高度调节箱(6),所述高度调节箱(6)的内部固定安装有调节电机(5),所述调节电机(5)的输出轴上固定安装有延伸传动杆(20),所述延伸传动杆(20)的左侧且位于高度传动杆(15)的正面固定安装有传动齿轮(17),所述旋转支撑座(9)的左右两侧均固定安装有运输板(8),两个所述运输板(8)的顶部均固定安装有限位卡柱(7),两个所述运输板(8)的顶部均卡接有运输卡接板(12),两个所述运输卡接板(12)相离的一侧均固定安装有料板(14),两个所述运输卡接板(12)的内部均开设有与限位卡柱(7)相对应的限位槽(13)。 2.根据权利要求1所述的等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,其特征在于:所述主体杆(1)的顶部开设有与运输电机(3)输出轴相对应的传动孔。 3.根据权利要求1所述的等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,其特征在于:所述传动齿轮(17)的外表面与高度传动杆(15)的正面均开设有相互啮合的传动卡齿。 4.根据权利要求1所述的等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,其特征在于:所述调节座(4)的右侧且位于高度调节箱(6)的顶部和底部均固定安装有安装支撑片。 5.根据权利要求1所述的等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,其特征在于:所述调节座(4)的右侧开设有贯穿调节座(4)且与延伸传动杆(20)相对应的传动槽。 6.根据权利要求1所述的等离子清洗机片连续式取放片料悬臂搬运机构,其特征在于:两个所述运输卡接板(12)相离的一侧且位于料板(14)的外表面均固定安装有保护固定环。 |
所属类别: |
实用新型 |