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原文传递一种用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途样品座及其应用

专利名称：	一种用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途样品座及其应用
摘要：	本发明涉及一种用于Nanoprobe‑FIB‑TEM失效分析的多用途样品座，包括：半月形样品台为具有窗口的半圆形硅片，TEM薄片样品固定在该窗口上；基座包括本体、用于安装Nanoprobe样品的第一支柱和用于安装半月形样品台的第二支柱，第一支柱和第二支柱固定连接在本体上，本体具有第一基座贯通孔和第二基座贯通孔；卡座具有第一卡座贯通孔和第二卡座贯通孔；第一卡座贯通孔与第一基座贯通孔或第二基座贯通孔适配，第二卡座贯通孔与FIB样品卡座台适配。本发明还提供上述的多用途样品座的应用。根据本发明的多用途样品座，适用于Nanoprobe、FIB、TEM多仪器，免去了在不同仪器里频繁更换样品台的步骤。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：	黄亚敏;董业民;王秀芳
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910339547.7
公开号：	CN110133019A
代理机构：	上海智信专利代理有限公司
代理人：	宋丽荣
分类号：	G01N23/20025(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	200050 上海市长宁区长宁路865号
主权项：	1.一种用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途样品座，其特征在于，包括：用于安装至TEM样品固定台的半月形样品台，该半月形样品台为具有窗口的半圆形硅片，TEM薄片样品固定在该窗口上；基座，该基座包括本体、用于安装Nanoprobe样品的第一支柱和用于安装半月形样品台的第二支柱，其中，第一支柱和第二支柱固定连接在本体上，本体具有第一基座贯通孔和第二基座贯通孔；用于安装至Nanoprobe样品卡座台和FIB样品卡座台的卡座，该卡座具有第一卡座贯通孔和第二卡座贯通孔；其中，第一卡座贯通孔与第一基座贯通孔或第二基座贯通孔适配以将基座安装固定至卡座，第二卡座贯通孔与FIB样品卡座台适配以将卡座安装固定至FIB样品卡座台。 2.根据权利要求1所述的多用途样品座，其特征在于，该本体包括彼此相对的基座顶表面和基座底表面，第一支柱和第二支柱均固定在基座顶表面上，第一基座贯通孔贯穿该基座顶表面和基座底表面；本体还包括彼此相对的前表面和后表面，其均设置于基座顶表面和基座底表面之间并连接基座顶表面和基座底表面，第二基座贯通孔贯穿该前表面和后表面。 3.根据权利要求1所述的多用途样品座，其特征在于，该卡座包括彼此相对的卡座顶表面和卡座底表面，该卡座顶表面具有用于容纳基座的凹槽。 4.根据权利要求1所述的多用途样品座，其特征在于，基座和卡座的材质为铝钛合金。 5.根据权利要求1所述的多用途样品座，其特征在于，该半月形样品台的厚度小于200um。 6.根据权利要求1所述的多用途样品座，其特征在于，该窗口的尺寸为15um长和10um宽。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的多用途样品座的应用，其特征在于，包括：将Nanoprobe样品和半月形样品台分别固定在基座的第一支柱和第二支柱上，将第一基座贯通孔与第一卡座贯通孔对准并将基座安装固定至卡座，然后将卡座直接安装在Nanoprobe样品卡座台上，实现Nanoprobe平面测试；将卡座通过第二卡座贯通孔安装固定至FIB样品卡座台，基于FIB技术实现TEM平面样品制备；从基座上取下Nanoprobe样品和半月形样品台，制备好的TEM平面样品随着半月形样品台直接安装在TEM样品固定台上，实现TEM观测。 8.根据权利要求1-6中任一项所述的多用途样品座的应用，其特征在于，包括：将Nanoprobe样品和半月形样品台分别固定在基座的第一支柱和第二支柱上，将第一基座贯通孔与第一卡座贯通孔对准并将基座安装固定至卡座，然后将卡座直接安装在Nanoprobe样品卡座台上，实现Nanoprobe平面测试；将卡座通过第二卡座贯通孔安装固定至FIB样品卡座台，基于FIB技术实现TEM截面样品制备；从基座上取下Nanoprobe样品和半月形样品台，制备好的TEM截面样品随着半月形样品台直接安装在TEM样品固定台上，实现TEM观测。 9.根据权利要求1-6中任一项所述的多用途样品座的应用，其特征在于，包括：将Nanoprobe样品和半月形样品台分别固定在基座的第一支柱和第二支柱上，将第二基座贯通孔与第一卡座贯通孔对准并将基座安装固定至卡座，然后将卡座直接安装在Nanoprobe样品卡座台上，实现Nanoprobe侧面测试；将卡座通过第二卡座贯通孔安装固定至FIB样品卡座台，基于FIB技术实现TEM截面样品制备；从基座上取下Nanoprobe样品和半月形样品台，制备好的TEM截面样品随着半月形样品台直接安装在TEM样品固定台上，实现TEM观测。 10.根据权利要求7-9中任一项所述的多用途样品座的应用，其特征在于，Nanoprobe样品和半月形样品台分别通过银浆固定在基座的第一支柱和第二支柱上，最后通过丙酮溶液浸泡从基座上取下Nanoprobe样品和半月形样品台。
所属类别：	发明专利