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一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法
| 专利名称： | 一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，属于光学膜技术领域，包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机，本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息，可以判断较小尺寸的节瘤缺陷；特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人： | 刘红婕;王方;朱启华;郑天然;周丽丹;胡东霞;袁强;袁晓东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-06-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-08-16T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910529654.6 |
| 公开号： | CN110132993A |
| 代理机构： | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 杨晖琼 |
| 分类号： | G01N21/896(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 621000 四川省绵阳市绵山路64号 |
| 主权项： | 1.一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，其特征在于：包括 用于竖直放置样品的样品台； 与所述样品台连接的用于调整样品位置的三维电动移动平台； 用于图像采集并成像的成像采集单元；及 用于控制所述三维电动移动平台和成像采集单元的控制分析单元； 其中，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机。 2.根据权利要求1所述的快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，其特征在于：所述激光器为405nm二极管激光器。 3.采用权利要求1所述的装置进行光学膜层节瘤缺陷检测的方法，其特征在于，包括以下步骤： （1）在样品待测面做标记点； （2）安装样品，固定样品台，开启光源模块和普通成像模块，微调样品台，使得样品在整个大口径范围内都能够清晰成像； （3）开启相位成像模块，设置样品台运动方向，与成像采集单元垂直的方向为Z方向，与Z方向垂直的方向为XY方向，调节样品台沿XY方向移动，对不同位置连续成像，由控制分析单元获取图像并对图像进行拼接与处理，获取光学膜层节瘤缺陷。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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